为推动废水处理行业的绿色低碳转型,精确核算废水处理工艺的碳排放至关重要,其中电力消耗是主要的碳排放源。采用国际气候变化专门委员会推荐的排放因子法,对典型芯片废水处理工艺的碳排放进行了核算,并探讨了不同处理阶段的碳排放组成及其决定因素。结果表明,芯片废水处理工艺的碳排放量普遍高于城镇废水处理工艺。7种典型芯片废水处理工艺A~G的碳排放强度分别为2.20、2.32、2.85、2.58、2.72、3.69、2.39kgCO2e/m3。其中,在碳排放强度差异较小的情况下,G工艺的碳排放量最低,仅为1.2×104kgCO2e/d,直接甲烷、氧化亚氮、间接电耗和药耗排放量分别为3309.3、2893.8、3733.4和2520.7kgCO2e/d,间接电耗占比最高,达30%。相比之下,G工艺平均减排10%,最高达35%。以广东省某电子工业企业5200m3/d芯片废水处理工程为例,G工艺旨在有效应对氟化物及有机碳/氮处理挑战及碳排放控制问题,确保出水水质符合《地表水环境质量标准》(GB3838—2002)Ⅲ类标准。此外,A、G工艺单位用地碳排放强度分别为0.71kgCO2e/m2、1.93kgCO2e/m2,G工艺土地利用率和污水处理效率高。通过深入探究与分析后得出的结果,应用新的能源利用模式和工艺优化方法,在处理芯片废水的过程中,能够显著减少能源消耗,从而降低碳排放,有助于推动该行业朝着更加绿色、可持续的方向发展。