半导体集成电路器件生产废水处理工艺研究与应用
摘要:针对半导体集成电路器件生产产生的电镀废水、酸碱废水,对流量控制、pH、药剂投加量、反应搅拌强度进行研究,并提出合理的处理工艺,确保废水处理达标排放。
摘要:针对半导体集成电路器件生产产生的电镀废水、酸碱废水,对流量控制、pH、药剂投加量、反应搅拌强度进行研究,并提出合理的处理工艺,确保废水处理达标排放。 收起-
作者:
单位
- 同济大学环境科学与工程学院
- 同济大学建筑设计研究院
- 上海市政工程设计研究院
- 上海200092
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